10月14日消息，晶瑞股份披露对深交所关注函的回复公告，称公司拟购买光刻机设备的型号为ASML XT 1900Gi，为ArF浸入式光刻机，可用于研发最高分辨率达28nm的高端光刻胶。

此前，晶瑞股份购买ASML光刻机的消息引发市场热议，上市公司也因此广受投资者追捧。9月29日早间，晶瑞股份公告称，公司将购买一台光刻机用于光刻胶研发，总价款为1102.5万美元（约为人民币7500万元）。

受此消息影响，9月29日，晶瑞股份股价快速涨停，当天市值暴增13.39亿元。股价暴涨也引起深交所注意，9月30日，晶瑞股份收到深交所关注函，要求其说明拟购买光刻机设备的具体用途、资金来源，以及拟购买光刻机设备型号等问题。

9月30日，晶瑞股份股价有所回落，当日下跌5.20%，不过节后上市公司再受追捧，10月9日、10月12日分别上涨4.73%、5.52%。自9月29日早间晶瑞股份发布购买光刻机的消息至10月12日收盘，市值已从67.42亿元（9月28日收盘市值）增至84.74亿元，区间市值增加17.32亿元。

对于深交所所关注的光刻机用途，晶瑞股份表示，拟购买的光刻机设备将用于公司集成电路制造用高端光刻胶研发项目，将有助于公司将光刻胶产品序列实现到ArF光刻胶的跨越，并最终实现应用于12英寸芯片制造的战略布局。

从高端光刻胶研发项目具体资金来源来看，第一种是发行可转债，第二种是自有及自筹资金。项目计划总投资4.885亿元，其中不超过3.13亿元拟通过可转债募集资金解决，其余资金将自筹解决。公司预计光刻机将于2021年上半年内完成运输并安装完成。

目前，晶瑞股份光刻胶产品主要应用于半导体、LED、平板显示等领域。2018年、2019年和2020年1-6月，公司光刻胶产品营收分别为8422.88万元、7915.78万元和4307.30万元，占总营收比重分别为10.39%、10.47%和10.05%。

资料来源：晶瑞股份公告截图

对于购买光刻机的影响，晶瑞股份表示：“本次购买光刻机可以保障公司集成电路制造用高端光刻胶研发项目关键设备的技术先进性和设备如期到位，对加快项目进度有积极影响。若研发工作进展顺利，将有助于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力。”